サブステージ
サブステージ
Kleindiek Nanotechnik社（クラインディークナノテクニク）
Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。 電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。
ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、 ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要と するアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。
- ACT（FIB向け カーテン効果防止4軸ステージ）
- E5AT（ユーセントリック5軸ステージ）
LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡（SEM/FIB）を始め、 各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を 用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。 広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.05nm）を併せ持ち、 観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作します。 LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって 区別されます。
- LT3310シリーズ
- LT6620シリーズ
- LT6820シリーズ
- LT14030シリーズ
主な特徴
ACT- ユーセントリックステージ
- XZRT 4軸
- エンコーダー有(T軸)
- ユーセントリックステージ
- XYZRT 5軸
- エンコーダー有(T軸、option R軸)
- 2つの3軸ステージを1台に構成
- X1Y1Z1/X2Y2Z2 6軸
- エンコーダー有(X1軸、Y1軸)
- サイズ：33mm角
- 可動範囲：10mm
- XY / XYZ / XYR 軸
- 超高真空モデル有
- エンコーダー無(オープンループ)
- サイズ：33mm角
- 可動範囲：10mm
- XY 軸
- 超薄型リニアステージ
- エンコーダー無(オープンループ)
- サイズ：66mm角
- 可動範囲：20mm
- XY / XYZ 軸
- 超高真空モデル有
- エンコーダー無(オープンループ)
- サイズ：68mm角
- 可動範囲：20mm
- XY / XYZ 軸
- 超高真空モデル有
- エンコーダー有(100nm)
- サイズ：141mm × 133mm
- 可動範囲：30 mm
- XY / XYZ 軸
- エンコーダー有(50nm)
- レーザー干渉計(option)
装置概要
LTシリーズはサブナノ分解能を持った超小型精密位置決めステージです。 最小サイズが33 mm角と非常に小型で、狭スペースへ取付けが可能です。 駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムーズな動作で 試料の位置決めを行えます。メカニカルステージに見受けられる バックラッシュやガタ付きがなく、セルカウンティングやスティッチング などの用途に極めて有効です。超高真空にも利用可能です。
ラインナップは、ステージサイズ/可動範囲/軸数/使用環境/エンコーダの有無（オープン/クローズドループ）によって分類されます。
サブナノ動作分解能
フレキシブルな取付
サブナノ動作分解能
ピエゾ素子を駆動原理とし、分解能0.05nmを実現します（直進軸最小動作時）。微動モード（nm動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を 切り替えることで、ナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。
簡単操作
シンプルな構成と接続
- サブステージ本体
- コントロールボックス
- 電源ボックス
- ジョイパッド
- 真空導入端子ケーブル/コネクタ
- 簡易ソフトウエア
動作原理
微動モード（ファインモード）
動作範囲は以下の通りです。
- 直進軸（上下・左右）
粗動モード（コースモード）
ラチェット動作の考え方は以下の通りです。
- スライダーを摩擦限界以下の力で希望する移動方向に加速する
- その直後に、ステーターを非常に早く逆方向に変位させる
- スライダーは摩擦限界を超えるため追従できず、その場にとどまる
- これによりステーターは再び希望方向に変位を開始できる