6軸アライメントステージ
6軸アライメントステージは、2つの3軸ステージを上下に重ねた独自構成により、 2つの対象物同士の位置合わせに加え、組み立て全体を外部対象（例：粒子ビーム）に対して位置合わせすることを可能にします。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 外形寸法（L × W × H） | 68 mm × 68 mm × 65 mmm |
| 可動範囲 | X1・Y1= 20 mm、Z1= 15 mm、X2・Y2= 10 mm、Z2= 7 mm、 |
| 分解能 | 直線軸 < 0.05 nm |
| 繰返し精度（X1/Y1） | 100 nm* |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| ドリフト | < 1.5 nm/min |
| エンコーダー | エンコーダー有り |
※ 繰り返し精度は、エンコーダーからの作業距離に依存します。 これはサブステージの角度偏差によるものです。
製品動画
6AAステージの概要
