LT6620
Kleindiek社のサブステージは、大気中、SEM/FIB、超高真空（UHV）環境における直交座標位置決めソリューションに適しています。
LT6620は主にSEM/FIB用途で使用され、 標準の顕微鏡ステージの精度および機能性を向上させます。 このステージは、極限環境における広範囲かつ高精度な位置決め用途向けに設計されています。
LT6620は位置エンコーダを搭載していないため、繰り返し精度や自動化が不要な用途においては、 エンコーダー付きモデルであるLT6820よりも安価に導入することができます。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| XYモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 66 mm × 66 mm × 26 mm、200 g |
| XYZモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 66 mm × 66 mm × 50 mm ＋15 mm 駆動、270 g |
| 可動範囲 | X= 20 mm、Y= 20 mm、Z= 15 mm |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| 分解能 | < 0.02 nm |
| 角度偏差（単方向） | < 10 µrad |
| 許容荷重（Load） | 500 g |
| リフト能力（Lift） | 200 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar（UHV仕様 2×10-10 mbar） |
| 動作温度 | 0℃～80℃（UHV仕様 0℃～120℃） |
| サブステージ取付 | 直径3.2 mm穴 × 4箇所 |
| サンプル取付 | M3ねじ穴 × 4箇所 |
| エンコーダー | エンコーダー無し |
| 材質 | ステンレス鋼 |
★ モデル
製品画像
