SFLT3310 超薄型リニアステージ
Kleindiek社のサブステージは、大気中、SEM/FIB、超高真空（UHV）環境における直交座標位置決めソリューションに適しています。
SFLT10サブステージは次世代の圧電技術を搭載しています。 主な用途はSEM/FIBで、Prober Shuttleと組み合わせて使用することで、 試料の二次元または三次元の滑らかで精密な移動を提供します。
SFLT10は非常に薄型であるため、狭いスペースでの使用にも最適です。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 外形寸法（L × W × H） | 33 mm × 33mm × 11.6 mm |
| 可動範囲 | X= 10 mm、Y= 10 mm |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| 分解能 | 直線軸 < 0.02 nm |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃～80℃ |
| サブステージ取付 | 4 × 2 mm穴 |
| エンコーダー | エンコーダー無し |
| 材質 | ステンレス鋼 |
★ モデル
製品画像
