LT3310
Kleindiek社のサブステージは、大気中、SEM/FIB、超高真空（UHV）環境における直交座標位置決めソリューションに適しています。
LT3310は主にSEM/FIB用途で使用され、 標準の顕微鏡ステージの精度および機能性を向上させます。 その滑らかな動作と回転軸により、セルカウント（細胞計数）用途にも最適です。
さらに、LT3310は、重量やスペースが厳しく制限される ナノマニピュレーション用途や、 極限環境での高精度作業向けに設計されています。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| XYモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 33 mm × 33mm × 11.6 mm、22 g |
| XYZモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 33 mm × 33mm × 30 mm ＋7 mm 駆動、30 g |
| XYRモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 33 mm × 33mm × 16.6 mm、28 g |
| 可動範囲 | X= 10 mm、Y= 10 mm、Z= 7 mm、R= 360° |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| 分解能 | 直線軸 < 0.02 nm、回転軸 < 4×10-7 度（6.5×10-9 rad） |
| 許容荷重（Load） | 50 g |
| リフト能力（Lift） | 25 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar（UHV仕様 2×10-10 mbar） |
| 動作温度 | 0℃～80℃（UHV仕様 0℃～120℃） |
| サブステージ取付 | 直径2 mm穴 × 4箇所 |
| サンプル取付 | M2ねじ穴 × 4箇所 |
| エンコーダー | エンコーダー無し |
| 材質 | ステンレス鋼 |
★ モデル
製品画像
