FIB向け カーテン効果防止4軸ステージ（ACT）
FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）は、X・Z・回転・傾斜の4つの動作軸を備えたポジショニングツールで、サンプルを±90度傾けることができ、さらにFIB / SEMの試料ステージを使用してステージ全体をFIB角度に傾けることができます。
ACTの傾斜軸が、FIB / SEMのステージによって電子ビームの中心に置かれた後、対象領域を所定の位置に移動し（X）、回転させて向きを調整し（R）、傾斜軸まで持ち上げる（Z）ことで真のユーセントリック傾斜を実現できます。
ACTを利用することで横断面またはTEM切片を生成しながら、集束イオンビームに垂直な軸上で試料を前後に揺動させることが可能です。
傾斜プラットフォームには0.1度分解能の位置エンコーダが取り付けられています。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 外形寸法（L × W × H） | 72 mm × 54 mm × 33 mmm |
| 重量 | 100 g |
| 可動範囲 | X= 10 mm、Z= 3 mm、R= 360度（無制限）、T= ±90度（エンコーダー付き） |
| 最大試料サイズ | 直径26 mm |
| 絶対精度 | T < 0.4度（7×10-3 rad） |
| 分解能 | 直線軸 < 0.05 nm、回転軸 < 4×10-7 度（6.5×10-9 rad） |
| 繰返し精度 | T < 0.03度（4×10-4 rad） |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| ドリフト | < 1.5 nm/min |
| エンコーダー | エンコーダー有り |
製品動画
ACTの概要
スムーズな断面加工（クロスセクショニング）
3Dプリント金属のミリング加工
前後に揺動（ロッキング）させながら試料をミリング加工
製品画像
