LT6820
Kleindiek社のサブステージは、大気中、SEM/FIB、超高真空（UHV）環境における直交座標位置決めソリューションに適しています。
LT6820は主にSEM/FIB用途で使用され、 標準の顕微鏡ステージの精度および機能性を向上させます。
LT6820は、レーザー干渉計ステージに代わる安価なステージとして設計されています。
特に、リソグラフィ、セルカウント、故障解析（FA）用途向けに設計されており、
位置エンコーダーを搭載することで、
X軸およびY軸において100 nmの繰り返し精度を実現しています。
- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| XYモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 68 mm × 68 mm × 26 mm、200 g |
| XYZモデル 外形寸法（L × W × H）、重量 | 68 mm × 68 mm × 50 mm ＋15 mm 駆動、270 g |
| 可動範囲 | X= 20 mm、Y= 20 mm、Z= 15 mm |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| 分解能 | < 0.02 nm |
| 繰り返し精度 | 100 nm ※ |
| 角度偏差（単方向） | < 10 µrad |
| 許容荷重（Load） | 500 g |
| リフト能力（Lift） | 200 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar（UHV仕様 2×10-10 mbar） |
| 動作温度 | 0℃～80℃（UHV仕様 0℃～120℃） |
| サブステージ取付 | 直径3.2 mm穴 × 4箇所 |
| サンプル取付 | M3ねじ穴 × 4箇所 |
| エンコーダー | エンコーダー有り |
| 材質 | ステンレス鋼 |
※ 繰り返し精度は、エンコーダーからの作業距離に依存します。 これはサブステージの角度偏差によるものです。
★ モデル
