ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）
ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）は、サンプルを無制限に回転させ、対象領域をユーセントリック位置に維持しながら、サンプルを±90度に傾斜できるように設計された5軸ポジショニングツールです。
このシステムは、傾斜プラットフォームに取り付けられた小さな4軸サブステージで構成されています。
サブステージは、XおよびY方向に10 mm x 10 mm、Z方向に3 mmの可動範囲を持ちます。さらに、回転軸によりサンプルを無制限に360度回転させることができます。傾斜プラットフォームには、0.1度の分解能を持つ位置エンコーダが取り付けられています。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 外形寸法（L × W × H） | 72 mm × 50 mm × 44 mmm |
| 可動範囲 | X・Y= 10 mm、Z= 3 mm、R= 360度（無制限、エンコーダー付 オプション有）、T= ±90度（エンコーダー付） |
| 最大試料サイズ | 直径26 mm |
| 絶対精度 | T < 0.4度（7×10-3 rad）、R（エンコーダー付 オプションの場合） < 0.4度（7×10-3 rad） |
| 分解能 | 直線軸 < 0.05 nm、回転軸 < 4×10-7 度（6.5×10-9 rad） |
| 繰返し精度 | T < 0.03度（4×10-4 rad） |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| ドリフト | < 1.5 nm/min |
| エンコーダー | エンコーダー有り |
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E5ATの概要
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