LT14030
Kleindiek社のサブステージは、大気中、SEM/FIB、超高真空（UHV）環境における直交座標位置決めソリューションに適しています。
LT14030は主にSEM/FIB用途で使用され、 標準の顕微鏡ステージの精度および機能性を向上させます。
LT14030は、レーザー干渉計ステージに代わる安価なステージとして設計されています。
本装置は、リソグラフィ、セルカウント、ナノプロービング、故障解析（FA）用途
向けに特化して設計されており、各軸に2つの位置エンコーダを搭載することで、
ヨー誤差（yaw error）の自動補正が可能です。
本ステージは用途に応じて、オープンループ仕様およびレーザー干渉計仕様でも提供されています。 また、三点アライメント用のソフトウェア（オプション）や、Z軸（オプション）も利用可能です。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- ピエゾ制御
- 低ドリフト
- 直交座標移動対応
- バックラッシュ（逆転時の遊び）なし
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 外形寸法（L × W × H）、重量 | 141 mm × 133 mm × 21 mm、420 g |
| 可動範囲 | X= 30 mm、Y= 30 mm、Z= 5 mm（Z軸はオプション） |
| 速度 | 1 mm/s（最大） |
| 最小ステップサイズ | < 0.02 nm |
| 繰り返し精度 | 100 nm ※ |
| 測定分解能 | 50 nm |
| 角度偏差（単方向） | < 10 µrad |
| 許容荷重（Load） | 500 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃～80℃ |
| サブステージ取付 | 直径3.2 mm穴 × 4箇所 |
| 動作中温度上昇 | 約55°Cまで上昇 |
| エンコーダー | エンコーダー有り |
| レーザー干渉計搭載 | レーザー干渉計搭載バージョン有り |
※ 繰り返し精度は、エンコーダーからの作業距離に依存します。 これはサブステージの角度偏差によるものです。
★ モデル
