電子顕微鏡用マニピュレーター
マイクロマニピュレータ MM3E-EMは既存のSEM/FIBに更なる拡張性をもたらします。装置本体が非常にコンパクトで、あらゆる汎用SEMの試料室内取付けが 可能です。取付けの際にSEMの改造は必要ありません。広い動作範囲と非常に細かい動作分解能(サブナノ)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード (分解能)を切換えながら操作することで、低倍率～高倍率での使用が可能です。SEM(SIM)像をライブ観察しながら、自在にマニピュレータを制御できます。 標準でプロービング機能を持ち、付属のコントローラーと測定機を接続してご利用頂けます。また、様々な分野のアプリケーションに対応したプラグイン オプションも充実しています。
● 機能面- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 小型で実用的
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- 低ドリフト
- 広い動作範囲
- 高い動作速度
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 直感的な制御・操作系
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
- 複数台制御も容易で作業性アップ
- 迅速かつ簡単なプローブ交換
- 手動位置決めも可能
- 機構由来の反転時のがた・遊び無
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g（要チェック） |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm 回転軸：< 60 nrad |
| 再現性 | XYZ軸：< 2 μm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g（要チェック） |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃～80℃ |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
| エンコーダー | エンコーダー有 |
| 固定方式 | M4タップ穴 |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz |
★ モデル
|  |
MM3E-EM
- エンコーダー付電子顕微鏡用マニピュレーター
- 標準モデルは先端が針
- Plug-in toolsによって機能付加が可能です。
MM3E-EM-Cryo
- 回転軸付マニピュレーター
- ピックアップ用
- コンピューセントリック法による試料位置補正（視野サイズ：30 μm程度）
MM3A-Cryo
- クライオ対応
- グリッパー型
- 既設のクライオ装置へ銅より線で接続
- 温度範囲：－196℃～80℃
MM3A-UHV
- 高真空モデル
- 真空度：2×10-10 mbar
マニピュレーター
- コンパクトで柔軟な構成
小型で実用的なプラグ＆プレイ設計。モジュール構成により、多くのSEM/FIB装置に対応します。設置・取り外しが迅速で、複数マニピュレータの併用や 各種プラグインツールにも対応しています。 - シンプルで分かりやすい操作性
結果重視の操作設計により、作業効率とスループットの向上に貢献します。直感的な操作インターフェースとソフトウェアを備え、習得しやすい構成です。 プローブ先端の交換も容易に行えます。 - 高い安定性と信頼性
コンパクトな構造により高い剛性を確保し、安定した動作を実現しています。低ドリフト（1 nm/分）で振動の影響を受けにくく、長時間の運用にも 対応可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動機構により、サブナノメートル分解能（0.25 nm）を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、SEM/FIB下での精密な操作を 支援します。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g（要チェック） |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm 回転軸：< 60 nrad |
| 再現性 | XYZ軸：< 2 μm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g（要チェック） |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
製品動画
MM3E-EM - SEM/FIB用エンコーダー付4軸マイクロマニピュレーター
マニピュレーターシリーズ へ戻る
特 徴 へ戻る
モ デ ル へ戻る
