Micro Gripper System
「マイクログリッパー」（MGS2-EM）は、マニピュレーターの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。マイクロサイズの試料を摘み、移動・引張り・
組立てなどを可能にします。試料の形状にもよりますが、サブμm～20μm程度の試料に適しています。
グリッパーの2本のアームはタングステン針からなり、先端が面接触になるようにFIBで加工されています。用途に合ったカスタムシェイプも可能です。
開閉制御にはピエゾが用いられ、開閉のステップ分解能は20nmと非常に細かいため、繊細な試料への接触ができます。また最大で5000μNの高保持力を
有します。グリッパーは1本のプローブ針と見なすこともできます。一例として、2台のマニピュレータそれぞれにグリッパーを付け、ナノワイヤーの両端を
掴み、2点間の抵抗値測定などが行えます。
- MM3A/Eへ後付け可能
- マイクロサイズ試料用
- ピエゾ制御
- 広い把持力レンジ
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 直感的な制御・操作系
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 全長28mm×チップ長5mm×高さ5mm |
| 可動域 | 20～40 µm |
| 把持面積 | (5～10 µm)2 |
| 動作分解能 | 2 nm |
| 把持力 | 5 µN～5 mN |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃～80℃ |
★ モデル
 |  |
マイクログリッパー(MGS2)
- µmオーダー用グリッパー
- マニピュレーターが必要
クライオグリッパー
- クライオ対応
- 既設のクライオ装置へ銅より線で接続
- 温度範囲：－196℃～80℃
- マニピュレーターが必要
ミニツイザー
- mmオーダー用グリッパー(MTW)
- マニピュレーターが必要
マニピュレーター
- コンパクト＆柔軟な設計
小型で扱いやすいプラグ＆プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。 - 高い安定性と信頼性
高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
製品動画
MM3A-EMに取り付けられたMGSとSEM内の様子
回転軸付MGS
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