Force MEasurement System
「フォースメジャーシステム」（FMS）は、マニピュレータのPlug-inツールのひとつで、力（押し込み／引張り）の読み取りを行います。FMSは「フォース センサー（自己検知型カンチレバー）」（FMT）、「FMT用プラグインホルダ」、「コントローラ」、「ソフトウェア」から構成されます。SEM観察をしながら マニピュレータを操作し、FMT先端を試料に押し込み／引張りをします。FMTの変位を電圧としてコントローラに出力し、ソフトウェアでForce-timeカーブを 表示・レコーディングします。SEM内で高倍率観察できることから、微小サンプルや局所領域にセンサーTipを接触させることが可能です。
● 機能面- MM3A/Eへ後付け可能
- インデント
- 引張・応力
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| チップ形状 | 長さ120μm×幅50μm×高さ4～5μm |
| 先端形状 | 高さ>5μm、CR<20nm |
| ばね定数(計算値) | 60～90 N/m |
| 最大印可力 | 360 µNまで |
| 抵抗値 | 500～600 Ω |
| 感度 | 1.5 mV/nm＠Vbridge=2.5 gain=100 |
★ モデル
 |  |
MM3A用FMS
- 標準のFMS
- 最大荷重360µN(計算値)
- マニピュレーターが必要
FMS-8N
- 最大荷重8N
- Prober Shuttleが必要
FMS-LS
- 生命科学用
- 最大荷重100mN
- 感度200µN/mV＠Gain=1000、Ub=5V
- マニピュレーターが必要
LCMK-LS-HH
- 生命科学用
- 高湿度用
- マニピュレーターが必要
マニピュレーター
- コンパクト＆柔軟な設計
小型で扱いやすいプラグ＆プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。 - 高い安定性と信頼性
高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
製品動画
SEM/FIB内での引張試験
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