Micro Soldering Unit
「マイクロソルダリングユニット」（MSU）は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつで、チップ（先端）を加熱することで 小型はんだごてとしての機能を追加します。ユニットには付属の温度制御システムを使用して、設定された温度を維持するための加熱および検知システムが あります。MSUには、シャフト径0.5 mmのカスタムチップを取り付けることができます。
● 機能面- MM3A/Eへ後付け可能
- 局所加熱
- マイクロはんだ付け
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 加熱温度 | 室温～100℃＠大気下、室温～200℃＠真空下 |
| 温度制御 | 分解能1℃、安定性1℃ |
| 温度センサー | 精度0.5%、安定性0.05%＠200℃(1000h使用後) |
| アナログ電圧出力精度 | 0.5%(オフセット補正後) |
| 動作真空度 | 1×10-7～1200 mbar |
| 昇温時間 | 100℃まで100s、200℃まで200s(真空度による) |
| 降温時間 | 200℃から100℃まで200s、45℃まで600s(真空度による) |
★ モデル
 |  |
MM3A用MSU
- 標準のMSU
- マニピュレーターが必要
その他
- 仕様についてご要望はお問い合わせください
マニピュレーター
- コンパクト＆柔軟な設計
小型で扱いやすいプラグ＆プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。 - 高い安定性と信頼性
高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
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