Low Current Measurement System
「微小電流測定キット」（LCMK）は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。MM3A単体でもプロービングが可能ですが、LCMKは 信号ラインをMM3A駆動用のラインと分離し、かつTriaxケーブルを用いることで、内部抵抗やノイズを改善し、より高感度な測定を可能にします。
● 機能面- MM3A/Eへ後付け可能
- 低ノイズ
- 高電圧/高真空/高温/低温
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 検出限界 | 3 fA@1Hz |
| 絶縁リーク電流 | 50 fA/V |
| 信号導体抵抗 | 約1Ω |
| 最大電圧 | ±210 V |
| 最大電流 | 200 mA |
| 最大周波数 | 100 MHz |
| ケーブル | 三重同軸 |
★ モデル
 | |
MM3A用LCMK
- 標準のLCMK
- マニピュレーターが必要
MM4用LCMK
- PS用LCMK
- Prober Shuttleが必要
高電圧用LCMK
- 1500 Vまたは3 Aまで
- マニピュレーターが必要
高真空用LCMK
- 高真空用
- マニピュレーターが必要
高温用LCMK
- 熱絶縁機能により200℃まで使用可能
- マニピュレーターが必要
クライオ用LCMK
- クライオ環境下で使用可能
- マニピュレーターが必要
光学顕微鏡用LCMK
- MM3A-LMPと使用する
- マニピュレーターが必要
マニピュレーター
- コンパクト＆柔軟な設計
小型で扱いやすいプラグ＆プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。 - 高い安定性と信頼性
高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
製品動画
SEM内でのプロービング
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