Gas Injectionr System
「ガスインジェクション（GIS）」は、マニピュレータのPlug-inツールのひとつで、低真空SEM内で、試料に気体を注入します。GISは、「温度可変 リザーバー」内に充填したプリカーサーや液体を原料として、SEM試料室内サンプルに気化したガスを導入します。「ナノモーター」によってバルブ制御が なされ、ガス導入量を非常に細かく調整できます。
● 機能面- MM3A/Eへ後付け可能
- 液体注入
- ピエゾ制御バルブ
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 直感的な制御・操作系
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| リザーバー容量 | 0.5 mL |
| 最高使用温度 | 90℃ |
| 流体接触部材 | テフロン、POM、ステンレス鋼 |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃～80℃ |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz |
★ モデル
 |  |
ガスインジェクション(GIS)
- 気体注入
- マニピュレーターが必要
マイクロインジェクション(MIS)
- 液体注入(MIS)
- マニピュレーターが必要
マニピュレーター
- コンパクト＆柔軟な設計
小型で扱いやすいプラグ＆プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。 - 高い安定性と信頼性
高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g |
| 可動域(粗動) | A&B軸：約220° C軸：12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | A&B軸：～10 mm/s C軸：～2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸：7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸：< 0.05 nm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3～4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
製品動画
MM3Aに取り付けたGIS
GISを使ったSEM内でのチャージアップ対策
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