Rotation tip

「ローテーター」(ROTIP)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつで、先端に回転(フリップ)軸を追加します。ROTIPの先端には プローブ針やグリッドホルダなどを保持できます。同じPlug-inツールである「グリッパー」や「フォースメジャーシステム」のフォースセンサーなどを 保持して、組合わせることも可能です。マニピュレータの先端を回転することで、ピックアップした試料の裏面観察や3次元STEM観察などが行えます。 FIBで使用することで、プローブ針の再先鋭化(クリーニング)やTEM試料のバックサイドミリング,アトムプローブ試料作製などに応用可能です。
● 機能面- MM3A/Eへ後付け可能
- 360度無制限
- 回転軸の追加
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 長さ32mm 直径4mm |
| 重量 | 2g |
| 回転範囲 | 360°(連続・無制限) |
| 分解能 | 0.1° |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃~80℃ |
★ モデル
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MM3A用Rotip
- 標準のRotip
- マニピュレーターが必要
その他
- MM3E用Rotip
- 高真空用Rotip
マニピュレーター
- コンパクト&柔軟な設計
小型で扱いやすいプラグ&プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。 - 高い安定性と信頼性
高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。 - 高速かつ高精度な動作
バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm |
| 重量 | 45g |
| 可動域(粗動) | A&B軸:約220° C軸:12mm |
| 可動域(微動) | A&B軸:約20 μm C軸:約1 μm |
| スピード | A&B軸:~10 mm/s C軸:~2 mm/s |
| 動作分解能 | A/B軸:7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸:< 0.05 nm |
| 保持力/保持トルク | 1 N / 3~4 Nmm |
| 耐荷重(B軸) | 5 g |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 検出電流 | 10 nA ~ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約7Ω |
製品動画
SEM内でのRotip付MM3A
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