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Rotation tip

Rotip
★ 特徴

 「ローテーター」(ROTIP)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつで、先端に回転(フリップ)軸を追加します。ROTIPの先端には プローブ針やグリッドホルダなどを保持できます。同じPlug-inツールである「グリッパー」や「フォースメジャーシステム」のフォースセンサーなどを 保持して、組合わせることも可能です。マニピュレータの先端を回転することで、ピックアップした試料の裏面観察や3次元STEM観察などが行えます。 FIBで使用することで、プローブ針の再先鋭化(クリーニング)やTEM試料のバックサイドミリング,アトムプローブ試料作製などに応用可能です。

● 機能面
  • MM3A/Eへ後付け可能
  • 360度無制限
  • 回転軸の追加

● 操作性
  • プラグアンドプレイ方式
  • 迅速な取付けと取外し
  • 使いやすく、習得が容易
項目 内容
サイズ 長さ32mm 直径4mm
重量 2g
回転範囲 360°(連続・無制限)
分解能 0.1°
動作最高真空度 1×10-7 mbar
動作温度 0℃~80℃

★ モデル
RotipRotip2

MM3A用Rotip

  • 標準のRotip
  • マニピュレーターが必要

その他

  • MM3E用Rotip
  • 高真空用Rotip

マニピュレーター

  • コンパクト&柔軟な設計
    小型で扱いやすいプラグ&プレイ構成を採用。多くのSEM/FIB装置に対応し、迅速な設置・取り外しが可能です。複数マニピュレータの同時使用や、便利な プラグインツールにも対応します。
  • シンプルで分かりやすい操作性
    直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、誰でも短時間で習得可能。プローブ先端の交換も容易で、作業効率とスループットを向上させます。
  • 高い安定性と信頼性
    高剛性・コンパクト構造により優れた安定性を実現。ドリフトは極めて低く、振動の影響も最小限に抑え、長時間の安定動作が可能です。
  • 高速かつ高精度な動作
    バックラッシュのない駆動系により、サブナノメートル分解能を実現。広い動作範囲と高速移動を両立し、精密かつ効率的な操作が可能です。
項目 内容
サイズ 幅20.4mm×奥行き62.1mm×高さ25.4mm
重量 45g
可動域(粗動) A&B軸:約220° C軸:12mm
可動域(微動) A&B軸:約20 μm C軸:約1 μm
スピード A&B軸:~10 mm/s C軸:~2 mm/s
動作分解能 A/B軸:7 nrad(約0.5/0.2 nm) C軸:< 0.05 nm
保持力/保持トルク 1 N / 3~4 Nmm
耐荷重(B軸) 5 g
動作最高真空度 1×10-7 mbar
検出電流 10 nA ~ 100 mA
検出電圧 100 Vまで
信号線抵抗値 約7Ω

製品動画

SEM内でのRotip付MM3A

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