PP3010T
「PP3010T」は、SEMおよびFIB/SEMに適したカラム取付けタイプのガス冷却クライオシステムです。最新のクライオSEM技術 の採用により設定が簡単になったPP3010TはPrepdekワークステーションに取付けられているタッチスクリーンから直感的に行う ことができ、より使いやすくなりました。 また、システムの視認性を大幅に向上しました。プレパレーションチャンバー（試料前処理室）には大きなフロントビュー ポートと小型ビューポート（x2個）に加え、LED照明を配置しました。更にCCDカメラをプレパレーションチャンバーに設置し、 カメラ映像をタッチスクリーンに表示します。 PP3010Tには、急速冷凍機能と大気非暴露搬送機能があり、プレパレーションチャンバーには冷却割断機構と自動昇華、 コーティング機能が備わっています。急速凍結された試料は、真空環境を維持したままSEM試料室内の冷却ステージに搬送され 観察されます。冷却ステージの温度安定性は0.5℃以下（typ.）に保たれます。プレパレーションチャンバーとSEM試料室内には、 最低－190℃まで冷却可能な冷却トラップ（アンチコンタミネーター）が備えられ、試料汚染を抑制します。
- 15”タッチパネルPCによる簡単操作
- ソフトウエアによるオート制御
- LN2冷却されたN2ガスによる冷却
- 大容量LN2デュワー
- マスフローコントロール
- 冷却トラップ(アンチコンタミネーター)付属
- －190℃まで冷却可能
- 視認性の良いプレパレーションチャンバー
- オフカラム型冷却
- 不活性ガス搬送
- 真空装置からの搬送
- グローブボックス用I/F(オプション)
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 装置 | 外径99 mm×奥行き88.5 mm、長さ920 mm(ロッド長含む) |
| 重量 | 1 kg程度 |
| ベッセル | 直径25 mm 深さ28 mm |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz 1400 W（RP含む） |
| 温度 | 室温から－190℃ |
| トラップ | アンチコンタミネーター(－190℃まで) |
| 対応装置 | 各種SEM、FIB、SEM/FIB、その他真空装置 |
| ベース真空度 | 1×10-4 mbar以下(室温)、1×10-6 mbar以下(冷却時) |
| 動作真空度 | 5×10-6 mbar以下(冷却ステージ)、1×10-1 mbar以下(搬送装置) |
| プロセス | スパッタ |
★ モデル
 |  |
PP3010T
主な仕様
- N2ガス冷却タイプ
- 温度センサー付冷却ステージ
- 冷却トラップ
- 真空断熱型熱交換器
- AirLolアッセンブリ（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）
- SEMチャンバー接続用カスタムデザインフランジ
オプション＆アクセサリ
- ロータリーポンプまたはドライポンプ
- フラットシャトル（22x13mm）
- デュアルクランプ付フラットシャトル（膜や硬い試料用）
- チルト、回転シャトル
- パルザーススタイルプランチェットシャトル（薄膜用）
- TEMグリッド（シールド付）
- フラットアルミ/銅スタブ
- スクリュー固定タイプスタブ
- 3x3mmスリット付銅スタブ、1x3mmスリット付銅スタブ
- ターゲット：Φ24 mm（Au、Au-Pd、Pt、Cr、Ir、他）
システム詳細
- プレパレーションチャンバー（試料前処理室）
プレパレーションチャンバーはSEM試料室のサービスポートに直付けされます。プレパレーションチャンバーは ガス冷却ステージ、大型の冷却トラップ（アンチコンタミネーター）試料の割断機構、昇華のためのヒーター、 スパッタコーターなどを備えます。- 見やすい前処理室とカメラ
プレパレーションチャンバーは内部が見やすく設計されています。150×78mmの大きなフロントウィンドウと 上部2ヶ所にビューポートを採用しています。LED照明とCCDカメラで試料冷却ステージ付近をコントロール スクリーンに映し出します。 - 冷却割断ナイフ
冷却割断ナイフと割断機構で様々な試料を冷却割断できます。フロントウィンドウに装着されたボールジョイント タイプのナイフは動きが自在であり表面加工や割断ができます。オプションとしてプレパレーションチャンバー上部 取付けタイプでマイクロメータ付きの頑丈な冷却ナイフもあります。 - 自動昇華 / スパッタリング
昇華温度と時間の設定/保存ができます。この工程は条件入力後、自動で行われ予測と実測の温度曲線が コントロールスクリーン上にグラフィカル表示されます。高分解能スパッタコーターでSEM像観察に不可欠な 極微細グレインフィルムをコーティングすることができます。
Ptターゲットが標準で付属しますが、オプションターゲットとしてAu、Au-Pd、CrおよびIrの用意もございます。 その他のオプションとしてカーボンエバポレーターや自動停止機能付き膜厚計（FTM）も装着可能です。 - プレパレーションチャンバーと省エネ装置
プレパレーションチャンバーは床置きの67L/secのターボ分子ポンプおよびロータリーポンプで排気されます。 使用時の前処理室内真空度は通常10-4Pa以下です。
ターボ分子ポンプの設置場所をSEM本体から離し振動の影響を軽減しております。ターボ分子ポンプ後方に 真空バッファータンクを組込みロータリーポンプは間欠運転しています。そうすることでロータリーポンプの運転 時間は1時間の内、数分間程度となり熱、雑音、振動の発生を抑え省エネ効果も実現しました。
- 見やすい前処理室とカメラ
- クライオトランスファーデバイス
コンパクトなクライオトランスファーデバイスは片手で持てるサイズで扱い易くなっています。大気非暴露機構および バネネットタイプのシャトル取付け機構によりクリーンな環境下で試料の移動が迅速です。クライオトランスファー デバイスはPredekに設けてある予備排気/格納チューブにコンパクトに収納できます。
-
冷却ステージ / 冷却トラップ（アンチコンタミネーター）
- プレパレーションチャンバー内
プレパレーションチャンバーは窒素ガス冷却の試料ステージがあり、最低-190℃の温度を精密に制御します。 試料上下の大型ガス冷却コールドトラップはプレパレーションチャンバーをクリーンで高真空に保持します。 冷却ステージとトラップはユニークな床置きタイプのCHE3010冷却システムから供給された窒素冷却ガスで 冷却します。 - SEM試料室内
安定した温度で優れた断熱性の窒素ガス冷却ステージはアダプタでSEMステージに取付けられます。冷却ステージ や冷却トラップは独立した2系統のガス冷却ラインで冷やされ、熱応答性がよく最低-190℃です。
- プレパレーションチャンバー内
- Prepdekワークステーション
人間工学的に設計されたワークステーションです。全ての制御はワークステーション上の15”タッチパネルPCから ソフトウェア制御されます。ウィザード形式のオートスタートとマニュアルスタートの選択が可能で、冷却温度や ガス流量を自動で制御します。PC制御により、スパッタコーティングや昇華のレシピ化、システムダイアログの表示、 真空度・温度などのデータログ機能、リモート診断機能などが追加されました。高度なマスロー制御系をPredek下部の コンソールに収納し、デスク上には十分な作業スペースと、大きめの試料凍結ポット、トランスファーデバイスの 予備排気/格納チューブ、シャトルマウント台などを備えます。
- CHE3010ガス冷却システム
CHE3010はSEM本体から離れたところに設置されそこで冷却された－190℃以上の冷却窒素ガスはすべてPP3010の 冷却用に使われます（SEM冷却ステージ、SEM冷却トラップ、プレパレーションチャンバーの冷却ステージと冷却トラップ 等）。この真空断熱ガス冷却システムにより優れた冷却効率だけではなく冷却用デューワーの設置場所も柔軟になりました。
製品動画
PP3010T紹介動画
