PP3004

PP3004

• システム構成
  　QuickLokはローディングチャンバー本体とポンプ、ベント、搬送システムからなります。これには、カスタムデザインの真空装置への インターフェースフランジも含まれます。コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー（シャトル）が 簡単に脱着できます。標準のシャトル以外に、オプションの試料ホルダーを取付けられます。QuickLokの内側にあるインターロックと連動したLED照明で 試料交換を容易にします。

• QuickLokの使用方法
  　試料を適したシャトルにセットしトランスファーデバイスに取り付けます。トランスファーデバイスをAirlockにアタッチして内部を排気します。 ゲートバルブを開け試料をSEMステージに移動します。他の真空装置やグローブボックスから搬送用にオプションでインターフェースフランジの追加も 可能です。

• 排気について
  　Quicklok用排気システムとしてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプが必要です。

主な仕様

• Airlockアセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）
• 真空ポンプへの接続用カスタムデザインフランジ
• シャトル用SEM側ステージ
• LEDチャンバーライト（インターロック付）
• 真空装置、不活性ガス対応試料搬送用トランスファーデバイス
• グローブボックス用インターフェースもありますので詳細はお問い合わせください

試料ホルダー

• 保持クリップ付試料シャトル
• 試料シャトル（ブランク）
• 試料シャトル（Φ10mm試料スタブ用）
• Φ10mmブランクスタブ

排気装置

排気装置として以下のようなポンプが必要です。

• ロータリーポンプ
• ターボ分子ポンプ（推奨）