PP3005 SEM Cool
SEM Coolは、PP3006とベースは同様ですが、PP3004 QuickLokが無いタイプになります。これは、サンプル交換時にQuickLokが不要なクライオ アプリケーション向けにデザインされております。試料搬送機構も必要な場合はPP3004の追加購入、または PP3006のご購入をご検討ください。
- ドローアウト方式
- LN2冷却されたN2ガスによる冷却
- 大容量LN2デュワー
- 冷却トラップ(アンチコンタミネーター)付属
- －190℃まで冷却可能
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 温度 | 室温から－190℃ |
| トラップ | アンチコンタミネーター(－190℃まで) |
| 対応装置 | 各種SEM、FIB、SEM/FIB、その他真空装置 |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz 1400 W（RP含む） |
| 動作真空度 | 5×10-6 mbar以下 |
★ モデル
 |  |
PP3005
- 冷却ステージと冷却トラップ
SEMステージに温度安定性や断熱性に優れたN2ガス冷却ステージを取付けます。冷却トラップの取付け位置や形状はチャンバー構成に合わせて 設計・製作されます。冷却ステージと冷却トラップは最低到達温度-190℃でその温度安定度は0.5℃以内です。試料交換時に必要なチャンバー用 LED照明の取付けも可能です。
試料ホルダー受けのある冷却ステージはアダプターでSEMステージに取付けられます。冷却ステージを使用しない時は、チューブや電気配線を 接続したままSEMチャンバーの中に保管できます。
- 冷却用デュワー＆制御パネル
冷却ステージや冷却トラップは真空断熱タイプ熱交換器と長時間運転可能な30L冷却デュワーによって冷却されます。冷却デュワーとSEM インターフェース間のラインは熱効率が最大になるように真空断熱されています。
冷却デュワーは冷却ステージ、冷却トラップ、モニター、ガスフローコントローラーなどが収納された台車に搭載されています。
- 排気について
SEM Coolでは定期的に真空断熱チューブを真空引きする必要があります。
主な仕様
- N2ガス冷却タイプ
- 温度センサー付冷却ステージ
- 冷却トラップ
- 真空断熱型熱交換器
試料ホルダー
- 試料シャトル（Φ10mmスタブ用穴 3個）
- 試料シャトル（ブランク）
- 保持クリップ付試料シャトル
- Φ10mmブランクスタブ
- マルチ試料スタブ（5個）
- 試料固定用コロイドグラファイトおよびTissue-Tek
排気装置
熱交換器の真空断熱チューブの排気用に以下のようなポンプが必要です。
- ロータリーポンプ
オプション＆アクセサリ
- Sircalインラインガス乾燥機：供給窒素ガス水分含有量減少さえるために使用
- PP3010Tで使用しているホルダーをPP3005でも使用可能
