PP3006 Cool Lok
Cool Lokで、SEMやFIB/SEM、ビームライン、その他の真空装置で試料のクライオ観察や迅速な搬送が可能です。アプリケーションとしてはビームに敏感な 試料の熱保護、プラスチック、ポリマー、Low-Kの誘電体や硬軟複合材料などの低温観測ができます。また、このシステムでは常温下で不活性ガス用グロー ブ ボックスから試料の搬送も可能です。
- 迅速な試料交換
- LN2冷却されたN2ガスによる冷却
- 大容量LN2デュワー
- 冷却トラップ(アンチコンタミネーター)付属
- －190℃まで冷却可能
- 不活性ガス搬送
- 真空装置からの搬送
- グローブボックス用I/F(オプション)
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 装置 | 外径99 mm×奥行き88.5 mm、長さ920 mm(ロッド長含む) |
| 重量 | 1 kg程度 |
| ベッセル | 直径25 mm 深さ28 mm |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz 1400 W（RP含む） |
| 温度 | 室温から－190℃ |
| トラップ | アンチコンタミネーター(－190℃まで) |
| 対応装置 | 各種SEM、FIB、SEM/FIB、その他真空装置 |
| 動作真空度 | 5×10-6 mbar以下(冷却ステージ)、1×10-1 mbar以下(搬送装置) |
★ モデル
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PP3006
- システム構成[真空エアーロックと冷却ガスフィードスルー]
SCool Lokは排気、ベント、搬送制御がローディングチャンバー本体にあり、それを真空装置の任意のポートに取付けます。真空チャンバーに 取り付けるカスタムデザインのインターフェースフランジ、コネクション、排気に必要なフィッティングは付属します。インターフェースには SEMチャンバー内の冷却ステージや冷却トラップへの冷却窒素ガス接続があります。
- 試料ホルダー、トランスファーデバイス
コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー（シャトル）が簡単に脱着できます。標準の シャトル以外にもオプションの試料ホルダーが取付けられます。
- 冷却用デュワー＆制御パネル
冷却ステージや冷却トラップは真空断熱タイプ熱交換器と長時間運転可能な30L冷却デュワーによって冷却されます。冷却デュワーとSEM インターフェース間のラインは熱効率が最大になるように真空断熱されています。
冷却デュワーは冷却ステージ、冷却トラップ、モニター、ガスフローコントローラーなどが収納された台車に搭載されています。
- CoolLokの使い方
試料をスタブにセットしホルダー（シャトル）に乗せてトランスファーデバイスに取付け、エアーロックにアタッチし内部を排気します。排気が 終了するとゲートバルブを開け、試料をSEM内の冷却ステージに搬送します。他の真空装置やグローブボックスの搬送用にオプションで インターフェースフランジの用意もあります。またトローリーマウント窒素スラッシュ冷却ステーションもオプションでご用意あります。 - 排気装置
排気装置としてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、高真空ターボ分子ポンプステーション（推奨）が必要です。
主な仕様
- N2ガス冷却タイプ
- 温度センサー付冷却ステージ
- 冷却トラップ
- 真空断熱型熱交換器
- AirLolアッセンブリ（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）
- SEMチャンバー接続用カスタムデザインフランジ
試料ホルダーここ確認
- 試料シャトル（Φ10mmスタブ用穴 3個）
- 試料シャトル（ブランク）
- 保持クリップ付試料シャトル
- Φ10mmブランクスタブ
- マルチ試料スタブ（5個）
- 試料固定用コロイドグラファイトおよびTissue-Tek
オプション＆アクセサリ
- PP3006専用窒素スラッシュ冷却ステーション
- トランスファーデバイスアタッチ用LN2冷凍チャンバー付
- Sircalインラインガス乾燥機（供給ガスの感想）
- PP3010Tで使用しているホルダーをPP3006でも使用可能
