EBIC用アンプ

EBIC Amplifier module

★ 特徴

　 EBIC像（Electron Beam Induced Current：電子線誘起電流）や、RCI（Resistive Contrast Image：吸収電流像）を得るためのアンプモジュールです。 EBIC像、RCI像の取得には、2台のマニピュレータと1台の微小電流測定キット（LCMK）との組合せが必要です。誘起電流または吸収電流は、マニピュレータが保持したLCMKを経由してアンプモジュールに入力されます。アンプモジュールはSEMの外部入力端子に接続され、SEMのディスプレイ上にEBIC像またはRCI像を表示します。EBIC像ではp-n接合の可視化や、試料の結晶欠陥の観察が可能です。RCI像では回路内のオープン箇所の特定などに有効です。

● 機能面

PS8との組合せ
MM3A/Eとの組合せ
LCMKとの組合せ
電流/電圧モード

● 操作性

プラグアンドプレイ方式
直感的な制御・操作系
迅速な取付けと取外し
使いやすく、習得が容易
ソフトウエア制御も

項目	内容
温度	－20℃～150℃＠真空下
温度制御	安定性0.1℃
制御	ソフトウエアまたは制御ボックス
動作真空度	1×10^-7 mbar～大気圧
電源	AC90～240 V 50/60 Hz