電子顕微鏡用プローバーシャトル
Prober Shuttle 8は、7nmテクノロジーノード以降での高精度のその場電気ナノプロービングのための最新ツールです。この製品のビジョンを実現する
ために、比類のない安定性と精度を備えた超フラットな3軸マニピュレーターであるMM4を開発しました。PS8は、最大8つのMM4で構成でき、超フラットな
3軸サブステージのオプションがあります。
PS8には、温度調機能があり、試料部、プローブの温度を一定に保ち、温度揺れによるプローブの動きを抑制します。
- ほとんどのSEM/FIBに取付可能
- 小型で実用的/ロードロック対応
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- 低ドリフト
- 広い動作範囲
- 高い動作速度
- 単一駆動で粗動と微動を実現
- 微動＋粗動で微動範囲拡張
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
- 迅速かつ簡単なプローブ交換
- 手動位置決めも可能
- 機構由来の反転時のがた・遊び無
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 幅140mm×高さ10mm |
| 重量 | 200g+取付治具 |
| 素材 | 非磁性 |
| 可動域(粗動) | A&C軸：5mm B軸：90° |
| 可動域(微動) | A&B軸：約20 μm C軸：約1 μm |
| スピード | ～10 mm/s |
| 動作分解能 | B軸：7 nrad(約0.5 nm) A&C軸：< 0.05 nm |
| 動作最高真空度 | 1×10-7 mbar |
| 動作温度 | 0℃～80℃ |
| 検出電流 | 1 pA ～ 100 mA |
| 検出電圧 | 100 Vまで |
| 信号線抵抗値 | 約5Ω |
| ノイズ | 25 fA＠1 Hz |
| 絶縁性能 | < 50 fA/V |
| サブステージ | X&Y軸：9mm Z軸0.7mm |
| 試料サイズ | 20mm×20mm 高さ20mm程度まで |
| エンコーダー | エンコーダー有 |
| 固定方式 | 取付治具 |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz |
★ モデル
 |  |
Prober Shuttle 8e
- 電子顕微鏡用プローバーシャトル
- マニピュレーター(MM4)：2台、3台、4台、6台、8台
- サブステージ有無を選択可能
- エンコーダー付
- Add-on toolsによって機能付加が可能です。
オプション
- オプション：Add-on toolsとして利用可能です。
概要
- コンパクトで柔軟な構成
小型で実用的なプラグ＆プレイ設計を採用し、モジュール構成によりロードロック対応機を含む多くのSEM／FIB装置に接続可能です。設置・取り外しが迅速で、 既存装置への後付けも容易に行えます。非磁性設計のためイマージョンレンズとの併用にも対応し、軽量プラットフォームはSEM試料ステージ上に簡単に 設置できます。FIB角度へのチルトが可能で、回路編集やデレイヤリング用途にも適しています。独自のケーブリング技術により、取り回しの良さと信頼性を 両立しています。 - シンプルで分かりやすい操作性
直感的な操作インターフェースとソフトウェアにより、習得しやすい構成です。プローブ先端の交換は迅速かつ容易で、複数マニピュレーターを用いた作業も スムーズに行えます。コンパクトな独立型電子ユニットを採用し、システム全体をすっきりと構成できます。 - 高い安定性と信頼性
優れた安定性を備え、低ドリフト（1 nm/分）で長時間の作業にも対応します。振動の影響を受けにくく、1年間の耐久試験に基づいた信頼性の高い動作を 実現しています。 - 高速かつ高精度な動作
最大10 mm/秒の高速動作とサブナノメートル分解能（0.05 nm）を両立しています。バックラッシュや反転時の遊びのない駆動系により、広い動作範囲で安定した 精密操作が可能です。ボタン操作による高速なプリポジショニング機能により、作業効率の向上にも貢献します。
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