PIE Scientific 社

PIE Scientific 社（ピーアイイー サイエンティフィック）　ー アメリカ ー

PIE Scientific社は、プラズマエッチングやプラズマクリーニング, 表面改質のための先進的なプラズマシステムの開発、およびイオンビーム, 電子ビーム関連の開発に従事する新鋭の開発メーカーです。米国カリフォルニア州のサンフランシスコとシリコンバレーの中間に位置するサンマテオ群に拠点を持ちます。
創業者はLawrence Berkeley国立研究所のPlasma & Ion Source Technology グループの出自で、半導体検査装置メーカーで15年間の経験を積んだ後に、半導体産業や核研究で培われた最先端のプラズマ技術を手ごろな卓上装置に落とし込んだ製品を市場にリリースすることを目的としてPIE Scientific社が創立されました。
市販のプラズマ装置以外に、アカデミック分野や研究開発用途向けに高効率・高輝度のイオン/電子ソースのカスタム設計や、sub-Nano分解能の光学設計なども行っています。
● SEM / TEMサンプルの炭化水素コンタミネーション除去
● プラズマ処理による表面濡れ性の改善（親水化）
● 表面処理による接着性の向上

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• 電子顕微鏡・表面分析装置 周辺機器 カタログ
• PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ
• PIE Scientific社 TEMホルダー真空保管ステーション カタログ

リモートプラズマクリーナー/卓上型プラズマクリーナー/TEMホルダー真空保管

• リモートプラズマクリーナー
• 卓上型プラズマクリーナー
• TEMホルダー真空保管

リモートプラズマクリーナーシリーズ

分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、ソースはFE-SEMやXPS・EPMAなどの試料チャンバーもしくは試料交換室などに接続されます。接続された試料チャンバーやチャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、 高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。

卓上型プラズマクリーナーシリーズ

2つのプラズマソースを内蔵し、用途に応じてクリーニングモードを切り替えることができます。分析試料やTEM用カーボン支持膜のPreクリーニング（コンタミ予防）から、 濃厚なコンタミネーションの積極的な除去クリーニングまで、1台で様々なニーズに対応します。

TEMホルダー真空保管ステーション

最大6本のTEMホルダー・サンプルを真空下で保管することができます。分析前のサンプルからのアウトガスを最小限に抑え、クリーンな状態に保ちます。