MiniQ ロータリーポンプ型コーター 『MiniQ S』 スパッタコーター
MiniQSは、安価な使いやすい装置で、再現性を求めるユーザーに最適です。ターゲット交換を容易にしたマグネトロンスパッタリングヘッドを採用。
● 機能面- 低～中倍率電子顕微鏡用真空装置
- 到達真空度5×10-2 [mbar]
- Au、Au-Pd、Agターゲット
- 防爆ガード付きチャンバー
- 容易なチャンバー取り外し
- 卓上型SEMに最適なコンパクト設計
● 操作性
- ヒンジ式スパッタヘッド
- ユーザー操作は最小限
- 事前登録されたレシピのみ
- ボタンを押してレシピ実施
- セーフティインターロック搭載
- 最大試料径50 mm
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 装置筐体 | 幅230mm×奥行き430mm×高さ328mm（蓋開時480mm） |
| 重量 | 8.7kg |
| チャンバー | 外径130/内径120 mm 高さ127mm |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz 1400 W（RP含む） |
| 到達真空度 | 5×10-2 mbar |
| プロセス | スパッタ |
| スパッタ電流 | 20 mAで固定 |
| スパッタ時間 | 30、60、90、120 秒 |
| ターゲットサイズ | φ57 mm |
★ モデル
 |  |
MiniQ S
- 貴金属用スパッタコーター
- Auターゲットを標準装備
- その他のターゲット：Au-Pd合金、Ag
- 安全性
- 英国および欧州(CE)の業界標準に適合(LVD、EMC、RoHSを含む)
オプション一覧
オプションはありません。
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- TurboQ S/E/ES
- チャンバーサイズφ150mmのTMP搭載型高真空コーター（スパッタまたは/および蒸着）
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- 1×10-6 mbar
- スパッタまたは/および蒸着
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- RotaQ S/E/ES
- チャンバーサイズφ150mmのRP型低真空コーター（スパッタまたは/および蒸着）
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- 6×10-3 mbar
- スパッタまたは/および蒸着
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- Q150GB
- グローブボックスに搭載可能なチャンバーサイズφ150mmのTMP搭載型高真空コーター（スパッタおよび蒸着）
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- 5×10-5 mbar
- スパッタおよび蒸着
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- Q300T
- チャンバーサイズφ300mmのTMP搭載型高真空コーター（スパッタ）
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- 5×10-5 mbar
- 2源交互または3源同時スパッタ
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