QCoat ターボ分子ポンプ（TMP）搭載型コーター 『TurboQ』 スパッタコーター
卓上型コーティング装置「QCoatシリーズ」は真空成膜装置で、DCマグネトロンスパッタリング （イオンスパッタ）と、抵抗加熱によるカーボン蒸着が行えます。他にも、親水化処理・真空蒸着・ アパーチャークリーニングなどの機能を拡張することも可能です。
電子ビームをプローブとする分析装置において、試料の帯電防止等を目的とした導電性コーティングに 適しています。また、金属スパッタは試料の熱ダメージを低減し、二次電子放出率を高める効果もあります。 一般に数nm程度の薄い膜厚が求められますが、数十～数百nm程度の保護膜の形成にも使用できます。
カーボン蒸着はEDSやWDSなどの元素分析における導電性コーティングの他、TEMグリッドのカーボン支持膜の作成などに使用されます。
実験レベルでの薄膜や電極の形成などにも適しています。AuやPtなどの貴金属ターゲット以外にも、 CrやNi、Al、Wなどの酸化する金属ターゲット、ITOのスパッタリングも可能であることから、 簡便に使える卓上サイズのスパッタ装置として、小～中規模実験室向けに最適です。
● 機能面- 超高分解能電子顕微鏡用高真空装置
- 到達真空度10-6 [mbar]
- 酸化しやすいターゲットにも対応
- 20万倍など高倍率観察用途向け
- 高分解能分析のための微小粒子径
- ログ取得、バックアップ
- 複数のステージオプション
- チルトステージ付属
- 膜厚モニター（FTM）付属
● 操作性
- 簡単で素早いセットアップ
- 高速サイクルタイム
- 直観的でユーザーフレンドリーなUI
- タッチスクリーン式カラーパネル
- ビジュアルステータスプロセス表示
- 標準的なプリセットレシピ
- カスタマイズ可能なレシピ
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 装置筐体 | 幅440mm×奥行き551mm×高さ556mm（蓋開時860mm） |
| 重量 | 38kg(ES) / 37kg(EまたはS) |
| チャンバー | 直径150 mm 高さ220mm |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz 1400 W（RP含む） |
| 到達真空度 | 1×10-6 mbar |
| プロセス | スパッタまたは/および蒸着 |
| スパッタ電流 | 1～150 mA |
| スパッタ時間 | 0～60 min |
| 蒸着電流 | 5～75 A |
| 予備加熱時電流 | 1～40 A |
| ターゲットサイズ | φ57 mm |
★ モデル
 |  |
TurboQ S
- 貴金属および酸化しやすい金属用スパッタコーター
- Crターゲットを標準装備
- オプション：インサート
- 追加スパッタインサート
- グロー放電用インサート
- オプション：ステージ
- Rotacotaステージ（遊星回転ステージ）
- スライドガラス用ステージ
- 4”ウエハステージ（QCoat用）
- Crターゲットを標準装備
TurboQ E
- カーボン蒸着コーター
- カーボンロッドソースを標準装備
- オプション：インサート
- カーボンファイバー蒸着用インサート
- 真空蒸着＆アパーチャークリーニング用インサート
- オプション：ステージ
- Rotacotaステージ（遊星回転ステージ）
- スライドガラス用ステージ
- 4”ウエハステージ（QCoat用）
- カーボンロッドソースを標準装備
TurboQ ES
- 貴金属および酸化しやすい金属用スパッタコーター
- Crターゲットを標準装備
- カーボン蒸着コーター
- カーボンロッドソースを標準装備
- オプション：インサート
- 追加スパッタインサート
- グロー放電用インサート
- カーボンファイバー蒸着用インサート
- 真空蒸着＆アパーチャークリーニング用インサート
- オプション：ステージ
- Rotacotaステージ（遊星回転ステージ）
- スライドガラス用ステージ
- 4”ウエハステージ（QCoat用）
| 品名 | 備考 | QCoat | Q300TT | Q300TD | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 50mmステージ | ターゲット～試料距離（WD）：25～71 mm [Q300] φ15/φ6.5mm試料台または1/8”ピンスタブを6個搭載可 | ○ | ○ | |||
| チルトステージ | 50mmステージのチルト対応タイプ 最大チルト角90°（手動） | ◎ | ○ | ○ | ||
| スライドガラス用ステージ | φ90mm（QCoat用はギアボックス付） | ○ | ○ | ○ | ||
| Rotacotaステージ （遊星回転ステージ） | 手動チルト可（水平～30°） 高さ調整不可（試料高によりロングチャンバーが必要） | ○ | ○ | ○※ | ||
| 4”ウエハステージ（QCoat用） | ギアボックス付 | ○ | ||||
| 4”ウエハステージ | 2”/3”/4”ウエハ対応 | ○ | ◎ | |||
| 6”ウエハステージ（Q300TD用） | 4”/6”ウエハ対応 | ○ | ||||
| 8”ウエハステージ | 6”/8”ウエハ対応 | ◎ | ||||
| 標準付属：◎、オプション：○ | ||||||
| ※ロングチャンバーが必要です | ||||||
| インサート | RotaQ | TurboQ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | E | ES | S | E | ES | |
| スパッタリング | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ||
| 追加用スパッタリング | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| グロー放電 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| カーボンファイバー蒸着 | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ||
| カーボンロッド（φ3.05mm）蒸着 | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ||
| 真空蒸着＆アパーチャークリーニング | ○ | ○ | ||||
| 標準付属：◎、オプション：○ | ||||||
| 品名 | 推奨度 | 備考 | QCoat | Q300 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| TurboQ | RotaQ | TD | TT | |||
| グラスチャンバー | 予備・交換用 | ○ | ○ | |||
| ロンググラスチャンバー | 予備・交換用 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| コーティング保護キット | ○ | 成膜によるチャンバー内の汚れを防止するためのマスキングキット。脱着が簡単でクリーニング可能 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 膜厚計（Film Thickness Monitor） | ◎ | 水晶振動子マイクロバランス（QCM）法 | ◎ | ◎ | ○ | |
| デュアル膜厚計 | ◎ | 2チャンネル膜厚計（Q300TDのみ） | ○ | |||
| 水晶振動子 | ◎ | FTM消耗品 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| ロータリーポンプ | ◎ | 2段式、5m3/h@50 Hz、6m3/h@60 Hz、オイルミストフィルタ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| ダイアフラムポンプ | △ | ロータリーポンプ代替（オイルフリー） | ○ | ○ | ○ | ○ |
| スクロールポンプ | △ | ロータリーポンプ代替（オイルフリー） | ○ | ○ | ○ | ○ |
| フルレンジ真空ゲージ | ピラニゲージ（標準付属）のアップグレード（要工場設置） | ○ | ○ | |||
| 標準付属：◎、オプション：○ | ||||||
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