リモートプラズマクリーナー EM-KLEEN
★ 特徴
リモートプラズマクリーナー『EM-KLEEN』は、 分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、ソースはFE-SEMやXPS、 EPMAなどの 試料チャンバーもしくは試料交換室などに接続されます。 接続された試料チャンバーやチャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、 高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。
プラズマソース内で生成された活性酸素ラジカルが、 真空装置付随の ターボ分子ポンプで試料室内に引かれて拡散します（ダウンストリーム）。 残留したハイドロカーボンガス分子とラジカルが化学的に反応 （低温灰化=アッシング）し、 反応による副生成物は真空ポンプで試料室外に 排出されることで、 試料室内をクリーニングします。
● 機能面- ターボ分子ポンプ領域で運転可
- 一般的な高真空チャンバー向け
- ハイスピードクリーニング
- プラズマ発光強度センサー内蔵
- 真空ゲージ内蔵
- 内部温度センサと冷却ファン
- 微量金属汚染を低減する構造設計
- レシピ登録・管理機能
- オートガス流量制御
● 操作性
- 自由度の高い取付け
- オート制御により複雑な調整不要
- タッチスクリーン式カラーパネル
- 秀逸なユーザーI/Fデザイン
- SafeモードとExpertモード
- 環境に合わせて選べるコントローラ
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| アプリケーション | 大型試料の高出力プラズマ処理 |
| プラズマソース | ダイレクトモード：CCP（CapacitivelyCoupled Plasma）[容量結合型] |
| クリーニングモード | ・高速クリーニングモード標準搭載 ・パルスモードオプション搭載 |
| RF出力（@13.56MHz）※ | 0～150 W（オプション：300 W or 500 W） |
| チャンバーサイズ | 内径：230 mm、奥行：340 mm 8インチウェハサイズ or 4/6インチウェハボードサイズまで対応 |
| システム制御 | 7インチLCDタッチパネル、20レシピ保存オート制御3レシピのジョブシーケンスモード |
| マスフローコントローラ | 2系統のマスフローコントローラで、プロセスガスの流量制御（オプションで1系統増設可） Vent/Pumpは、別系統のソレノイドバルブで制御 |
| プラズマ強度センサー | プラズマ発光強度センサーを内蔵 |
| サイズ（W×H×D） | 500×550×550 mm |
| 重量 | 42 kg |
| 電源 | AC 90～250 V、50/60 Hz、 800 W以下（真空ポンプ消費電力含まず） |
※ RF出力：日本国内では、初期設定でRF出力を49Wまでに制限しています。
“高周波利用設備申請書”の届出により、制限を解除し、150W（オプション：最大500W）まで使用可能となります。
オプション
- Tergeo-Proのオプションは以下の通りです。一覧にない仕様はお問い合わせください。
- 最大RF出力300W or 500W
- プロセスガス1系統増設（最大3種類）
- 水蒸気プラズマキット
- TEMグリッド/試料ホルダー
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