卓上型プラズマクリーナー Tergeo-Basic
★ 特徴
卓上型プラズマクリーナー『Tergeo』は、2つのプラズマソースを内蔵し、 用途に応じてクリーニングモードを切り替えることが出来ます。
このため「エッチング」や「アッシング」、「表面洗浄」、「表面改質」といった、 一般にラボで要求されるあらゆるプラズマ処理に、Tergeo1台で対応することが 可能です。Tergeoがあれば、プラズマ処理のために複数台の装置を用意する必要 はありません。
Tergeo-Basicは低価格のエントリーモデルで、多くの一般的なアプリケーションに 適応可能です。
● 機能面- Lab向けAll-in-One
- Dualプラズマソース
- 3つのクリーニングモード
- プラズマ発光強度センサー内蔵
- 真空ゲージ内蔵
- 内部温度センサと冷却ファン
- 微量金属汚染を低減する構造設計
- レシピ登録・管理機能
- 最大3種類のガスを同時に流量制御
● 操作性
- 卓上型でコンパクト
- オート制御により複雑な調整不要
- タッチスクリーン式カラーパネル
- 秀逸なユーザーI/Fデザイン
- SafeモードとExpertモード
- フレキシブルなフロントドア
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| アプリケーション | 一般的なプラズマ処理 |
| プラズマソース | ダイレクトモード：CCP（CapacitivelyCoupled Plasma）[容量結合型] リモートモード：ICP（Inductively Coupled Plasma）[誘導結合型] |
| クリーニングモード | ・高速クリーニングモード標準搭載 ・低ダメージモード標準搭載 ・パルスモードオプション搭載 |
| RF出力（@13.56MHz）※ | 0～75 W（オプション：150 W） |
| チャンバーサイズ | 内径：110 mm、奥行：280 mm 4インチウェハサイズまで対応 |
| システム制御 | 7インチLCDタッチパネル、20レシピ保存オート制御3レシピのジョブシーケンスモード |
| マスフローコントローラ | 2系統のマスフローコントローラで、プロセスガスの流量制御（オプションで1系統増設可） Vent/Pumpは、別系統のソレノイドバルブで制御 |
| プラズマ強度センサー | プラズマ発光強度センサーを内蔵 |
| サイズ（W×H×D） | 450×230×430 mm |
| 重量 | 21 kg |
| 電源 | AC 90～250 V、50/60 Hz、 800 W以下（真空ポンプ消費電力含まず） |
※ RF出力：日本国内では、初期設定でRF出力を49Wまでに制限しています。
“高周波利用設備申請書”の届出により、制限を解除し、75W（オプション：150W）まで使用可能となります。
オプション
- Tergeo-Basicのオプションは以下の通りです。一覧にない仕様はお問い合わせください。
- 最大RF出力150W
- プロセスガス1系統増設（最大3種類）
- 水蒸気プラズマキット
- TEMグリッド/試料ホルダー
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