FurnaSEM1000
『FurnaSEM1000』は、金属ヒーターを用いて1000℃まで加熱するステージです。セラミックスを使用しないため 高温下でのガス発生がありません。 熱電対で試料部とステージの温度をモニタします。ガス環境下でも 使用可能なステージです。高温での化学反応や試料の形態の観察に最適です。 オプションで、冷却やガス導入キットもあります。
主な特徴
- 多くのSEM/FIBに取付可能
- 小型で実用的
- 優れた安定性
- ソフトウエア制御
- 実験条件のレシピ化
- EBSD観察対応
★ アプリケーション
- ESEM内ガス雰囲気下における高温その場観察
- 電子後方散乱回折(EBSD)
- 表面形態観察
- 化学反応、粒成長、その他化学情報と高温現象の同時観察
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FurnaSEM1000
- 仕様
項目 内容 サイズ 幅80mm×奥行60mm×高さ25mm 重量 350 g 加熱温度 1000℃ 温度変化速度 0.01℃/s～2℃/s 冷却機構 閉ループ冷却回路 冷却温度 －150℃ 観察 EBSD - 装置概要
- ヒーター：1000℃まで
- 対応装置：SEM/FIB、環境制御SEM
- WD：通常観察時10mm程度、EBSD観察時：15mm
オプション
| オプション(1) | 冷却機能 |
|---|---|
| オプション(2) | ガス導入 |
| オプション(3) | 調湿機能付ガス注入 |
| オプション(4) | SEM連携ソフトウエア |
| オプション(5) | 予備テスト用ex-situ真空チャンバー |
| オプション(6) | 高温観察用BSE検出器 |
- オプション概要
- 冷却機能：－150℃～＋150℃
液体窒素デュワーと接続された銅編組ヒートストラップによる冷却
※引張試験時やEBSD時、曲げや圧縮治具使用時は適用温度が変わります。 - ガス導入：ソフトウエア制御されたバルブを備えたガス導入針
- 水蒸気導入：水蒸気量制御しながら注入
- e-Remora：加熱テストとSEM制御を自動化するソフトウエア
※SEM側に外部ソフトウエアによる通信制御オプションがある場合のみ - ex-situチャンバー：試料特性が不明な場合にSEM内実験前に事前にテストするチャンバー
- 高温観察用BSE検出器：高温での観察のためのBSE検出器(KARMEN)
- 冷却機能：－150℃～＋150℃
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