加熱ステージ

FurnaSEM

Newtec Scientific社（ニューテックサイエンティフィック）

　 FurnaSEMは、SEM内で試料を高温にして観察するためのステージです。ヒーター材としてセラミックスを使用していないため高温での予期せぬコンタミを防げます。また、オプションでガスや液体水の試料付近への導入、試料冷却、ソフトウエア、SEM観察前の予備実験用チャンバーセットなどございます。

主な特徴

小型
金属ヒーター使用
セラミックスヒーター無
EBSD対応
ソフトウエア制御
SEMやFIBに設置可
ガス導入システム
高温観察用BSE検出器

装置概要

FurnaSEM
　非常に小型なため、多くのSEMやFIBに対応しています。セラミックスヒーターを使用せず、金属ヒーターを用いているため、高温下で予期せぬコンタミが発生しません。熱電対で、ヒーター、ステージ（試料近傍）の温度を監視して制御が可能です。環境制御型SEMでも使用可能で、ガス環境下でも使用可能です。オプションで、ガス導入も可能で、高温での化学反応や試料形態の観察にも最適です。