KARMEN - 高温でのSEM観察用 伸縮式BSE検出器

『KARMEN』は、電子顕微鏡用の新しい高温用BSE検出器で、 Crytur最高クラスの単結晶シンチレータに、精密高真空メカニクスと読出し回路を使いやすい単一パッケージにまとめた製品です。
● 高信頼性センサ- 超長寿命な単結晶CRY 18センサ(100nmのAlコーティング)
- 超高品質な画像の為のシンチレータ/PMT(光電子増倍管)
- 高温・ガス環境下でも優れたS/N比
- 低~高真空下や高温下、ガス雰囲気下でのBSE像
- 試料温度:1000℃以上まで


● 精密機構
- モータ駆動式引き込み機構
- ベローズ式引き込み機構による超高真空
- 引き込み範囲:150 mm
- コンパクト設計
- 精密な位置調整
- 各種SEMへ取付可能


センサ部 |
| ● 最適化された効率、最小化された残光、30光子/keVでの減衰時間45nsのCRY 18シンチレータ |
| ● 外径15 mm |
| ● 穴径:2、3、4 mm (観察視野は穴径による) |
| ● 高温試料からの熱電子をカットする100nmのAlコーティング ヒートパイプ技術による冷却 |
| ● 最小感度:ビーム電流値10 pA |
電子制御部 |
| ● 寸法:270 × 180 × 65 mm |
| ● 電源:AC 230/110 V |
| ● 異なるスキャン速度に最適化された3つのノイズフィルタ |
| ● 帯域幅:50 MHz |
| ● 内蔵電源:光電子倍増管用0~1200 V |
| ● ビデオ出力信号:±1V(±5V) |
| ● 完全遠隔ソフトウェア制御 |
作動機構部 |
| ● 寸法:406 × 100 × 72 mm |
| ● 超高真空度のベローズ設計 |
| ● モータ駆動式引き込み:150 mm |
| ● XYZ軸での微調整:±2 mm |
| ● 位置再現性:±0.02 mm |
| ● ヒートパイプ技術による受動冷却機構、高温試料からの輻射を遮蔽する機構 |
| ● 各種SEMのフランジに対応 |
| ● 銀/黒/青/赤の艶消し仕上げ |
| ● 入射電圧の増加に伴うBSEコントラストの進化 |
![]() グバラ隕石中のコンドリュールと金属フレーク(チェコ共和国科学アカデミー地質研究所提供) |
| ● 高速スキャン REBEKAは20ns/pxlの高速スキャンが可能です。 |
![]() Er / Ybファイバーレーザーの詳細(チェコ共和国科学アカデミー光電子研究所) |
| ● 同一サンプルのBSEとSEの画像比較 |
![]() Lu2 O3 結晶を含むLu3 Al5 O12 |
| ● KARMENで取得した画像 |
![]() 白金の粒成長過程における直接観察
マルクール分離化学研究所所有のFurnaSEM(NewTec 社製)を使って加熱し、高温下のBSE像はKARMENを使って撮影 |
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