Heating Cooling Stage for PS8
マイクロ加熱冷却スタブは、Prober Shuttle（PS8）用のサブステージで、試料温度の精密な制御を可能にします。本ユニットには、冷却・加熱・温度 センサーが一体化されており、付属の温度制御システムを使用することで、設定した温度を安定して維持できます。また、付属ソフトウェアにより、温度 プロファイルの設定・制御に加え、設定温度および実測温度のログ取得が可能です。取得したデータは、後日の解析や記録として活用できます。
● 機能面- PS8との組合せ
- 冷却：－20℃まで
- 加熱：150℃まで
- 循環冷却なし
● 操作性
- プラグアンドプレイ方式
- 直感的な制御・操作系
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
- ソフトウエア制御も
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 温度 | －20℃～150℃＠真空下 |
| 温度制御 | 安定性0.1℃ |
| 制御 | ソフトウエアまたは制御ボックス |
| 動作真空度 | 1×10-7 mbar～大気圧 |
| 電源 | AC90～240 V 50/60 Hz |
★ モデル
 |  |
マイクロ加熱冷却ステージ(HCSPS8)
- 真空下で－20℃～150℃
- PS8用の加熱冷却ステージ
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