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卓上型コーター
卓上型コーター
TurboQ S/E/ES
チャンバーサイズφ150mmのTMP搭載型高真空コーター(スパッタまたは/および蒸着)
RotaQ S/E/ES
チャンバーサイズφ150mmのRP型低真空コーター(スパッタまたは/および蒸着)
Q150GB
グローブボックスに搭載可能なチャンバーサイズφ150mmのTMP搭載型高真空コーター(スパッタおよび蒸着)
Q300T
チャンバーサイズφ300mmのTMP搭載型高真空コーター(スパッタ)
miniQ S
スパッタ