背面照射型sCMOS 軟X線カメラ ［高速・直接検出型］
- 高解像度 - 4.2メガピクセル
- 画素サイズ - 6.5×6.5 μm
- 高感度 - 量子効率最大99%
- 高速動作
- 高ダイナミックレンジ - 最大16ビット
- EMP耐性 - CoaXPressデータインターフェース
- 真空冷却：-45°C冷却
Marana-Xシリーズについて
「Marana-X」は、EUVや軟X線の直接測定に適したANDOR社の画期的なsCMOSカメラです。
軟X線トモグラフィからハイパースペクトルイメージングまで、感度・速度・解像度・視野を兼ね備えており、最も要求の厳しいイメージングや分光学的な課題にも対応します。
Marana-Xシリーズ ＜特長＞
ピークQE99％・最小ノイズ
微弱光検出に最適な高S/N比。高速・高コントラスト実現
真空冷却-45℃
微弱信号には低ノイズフロアと長時間露光が必須：カメラの熱ノイズを最小限に
420万画素
高解像度・広視野で鮮明な画像取得
世界唯一の非コーティング背面照射型sCMOS
Marana-Xは、世界で初めて非コーティング背面照射型sCMOSセンサーを搭載し、圧倒的なEUV-軟X線検出性能を実現
拡張ダイナミックレンジ (EDR) モード搭載
1枚の画像取得で低輝度から高輝度までフルダイナミックレンジをカバー
99.7％のリニアリティ
全シグナルレンジにおいて市場をリードする定量的精度を達成
空冷と水冷を標準装備
水冷で最高の感度を実現
USB 3.0およびCoaXPress接続オプション
USB 3.0は柔軟性を提供。CoaXPressは最高速度を実現し、最もダイナミックなイベントを捕捉。EMP耐性のあるデータ転送を可能にします
アプリケーション
- 直接X線撮影
- トモグラフィ
- 分光法
- EUVタイコグラフィ
- ハイパースペクトルイメージング
- HHG(高次高調波発生)ソースの特性評価
- EUV(極端紫外線)リソグラフィ
仕様
| モデル | Marana-X 4.2B-6 |
|---|---|
| センサータイプ | 裏面照射型 Scientific CMOS |
| 画素数（W×H） | 2048×2046 （420万画素） |
| ピクセルサイズ | 6.5×6.5 μm |
| 有効素子サイズ | 13.3×13.3 mm（対角 18.8 mm) |
| 読出モード | ローリングシャッター、グローバルクリア |
| ピクセル読出レート | 310 MHz (Fast High Dynamic Range mode、16-bit) 180 MHz (Low Noise mode、12-bit) 570 MHz (High Speed mode、11-bit) |
| 量子効率 | 最大99 % |
| 読出ノイズ（median） | 1.0 e- (Low Noise mode、12-bit) 1.6 e- (Fast High Dynamic Range mode、16-bit) 1.9 e- (High Speed mode、11-bit) |
| 冷却温度 | 空冷：-25 ℃ （＠環境温度 最大30 ℃） 水冷：-45 ℃ （＠水温：16 ℃） |
| 暗電流 | 空冷 （@-25℃）：0.15 e-/pixel/s 水冷 （@-45℃）：0.10 e-/pixel/s |
| ピクセルウェル深度（有効エリア） | 42000 e- (Fast High Dynamic Range mode、16-bit) 2100 e- (Low Noise mode、12-bit) 2100 e- (High Speed mode、11-bit) |
| ダイナミックレンジ | 34000:1 (Fast High Dynamic Range mode、16-bit) |
| PCインターフェース | USB 3.0 & CoaXPress |