MT1000
『MT1000』は、ソフトウエアで制御しながら引張試験を行なうステージです。金属ヒーターを採用し 1000℃まで 加熱できます。セラミックスを使用しないため高温下でのガス発生がありません。熱電対で試料部とステージの温度を モニタします。ガス環境下でも使用可能なステージです。 SEMや光学顕微鏡(ラマン分光など)との組み合わせで変形を その場観察するのに最適です。
主な特徴
- 多くのSEM/FIBに取付可能
- 小型で実用的
- 優れた安定性
- ソフトウエア制御
- 実験条件のレシピ化
- EBSD観察対応
- 5 kNまでの引張力
- ダブルオーブン/シングルオーブン
- その他オプション
★ アプリケーション
- ESEM内ガス雰囲気下における高温変形その場観察
- 電子後方散乱回折(EBSD)
- 表面形態観察
- 光学顕微鏡との組合せによる観察とラマン分光測定
- 低温～高温下、ガス雰囲気下での変形その場観察
★ モデル
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MT1000
- 仕様
項目 内容 サイズ 幅155mm×奥行100mm×高さ45mm 重量 1.3 kg 引張力 5 kN 変位量 0～15 mm 位置変位速度 10 nm/s～40 µm/s 力分解能 0.01 N 位置分解能 0.001または0.1 µm 加熱温度 1000℃ 冷却温度 －150℃ 観察 EBSD - 装置概要
- ヒーター：1000℃まで
- 対応装置：SEM/FIB、環境制御SEM
- WD：通常観察時10mm程度、EBSD観察時：15mm
オプション
| オプション(1) | 10 kNアップグレード |
|---|---|
| オプション(2) | ダブルオーブン(950℃まで) |
| オプション(3) | 温度傾斜 |
| オプション(4) | 試料直下加熱(1000℃まで) |
| オプション(5) | 冷却機能 |
| オプション(6) | ガス導入 |
| オプション(7) | 調湿機能付ガス注入 |
| オプション(8) | SEM連携ソフトウエア |
| オプション(9) | 予備テスト用ex-situ真空チャンバー |
| オプション(10) | 高温観察用BSE検出器 |
| オプション(11) | 光学観察キット |
- オプション概要
- 引張力：10 kNへのアップグレード
- 冷却機能：－150℃～＋150℃
液体窒素デュワーと接続された銅編組ヒートストラップによる冷却
※引張試験時やEBSD時、曲げや圧縮治具使用時は適用温度が変わります。 - ガス導入：ソフトウエア制御されたバルブを備えたガス導入針
- 水蒸気導入：水蒸気量制御しながら注入
- e-Remora：加熱テストとSEM制御を自動化するソフトウエア
※SEM側に外部ソフトウエアによる通信制御オプションがある場合のみ - ex-situチャンバー：試料特性が不明な場合にSEM内実験前に事前にテストするチャンバー
- 高温観察用BSE検出器：高温での観察のためのBSE検出器(KARMEN)
- 光学観察キット：MEB-Iris
光学顕微観察システムを使って、試料表面を観察します。ミラーの出し入れにより、試料表面を光学観察します。 SEM観察時は、ミラーを退避します。
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