SEMGLU

「電子線硬化接着剤」（SEMGLU）は、高真空対応の接着剤で電子線を照射することで硬化します。

★ 特徴

イオンや熱では硬化せず、また低いビーム電流や低倍率観察時に硬化することもありません。電子線を局所的に絞って照射することでのみ硬化します。（ex.ビーム電流 1nA ＠Magx50000で約1分）

接着力はエポキシペースの接着剤と同等です。約1mm3の液滴（SEMGLU）がピンスタブ試料台に乗せられて出荷されます。

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