SemCam
SemCam小型CCDカメラは、SEMチャンバー内にスタンドアロンツールとして
設置することも、MM3A-EMマニピュレーターシステムと組み合わせて使用する
ことも可能です。
視野範囲は約3 mmで、専用光源を備えています。これにより、プローブチップを
試料表面へアプローチさせる作業がさらに容易になります。SemCamはSEMの俯瞰視点とは異なり、側面方向からマニピュレーターを観察
できるため、アプローチ作業を容易に完了させることができます。
- MM3A/Eとの組み合わせ
- 手動フォーカス調整機能
- 手動視野角調整機能
● 操作性
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
- プラグアンドプレイ方式
製品仕様
- 手動フォーカス調整機能
- 手動視野角調整機能
- 画像サイズ：約 3 mm × 4 mm
- 輝度調整可能なLED照明ユニットおよびモニター付属
- 試料表面までの距離を任意に調整可能
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