RoTip Shuttle

RTS / RT-STEM

★ 特徴

ローテーター（RoTip Shuttle / RT-STEM）は回転（フリップ）軸を持ったスタンドアロン装置です。マニピュレータと併用することで、SEM / FIB内でのマニピュレーションの自由度を拡張します。
ローテーターの先端には、プローブ針やグリッドホルダなどを保持できます。 Plug-inツールである「グリッパー」や「フォースメジャーシステム」のフォースセンサーなどを保持して、組合わせることも可能です。ローテーターの先端に試料を保持して回転することで、試料の裏面観察や3次元STEM観察などが行えます。FIBで使用することで、TEM試料のバックサイドミリング、アトムプローブ試料作製などへの応用も可能です。
※ローテーターは回転軸のみのため、一般的にSEMのXYステージなどに設置して使用します。

● 機能面

MM3A/Eとの組合せ
360度無制限
回転軸の追加

● 操作性

プラグアンドプレイ方式
迅速な取付けと取外し
使いやすく、習得が容易

★ モデル

主なアプリケーション

ナノマニピュレーション
STEM
バックサイドミリング
FIB旋盤加工（FIB Lathe Milling）
トモグラフィー
EFTEM、3D&高分解能マッピング

RTS
RT-STEM

RoTip Shuttle（RTS）

RoTip Shuttleは試料を水平軸に回転（フリップ）することで、 3DSTEM観察やバックサイドミリングなどを可能にします。
4inchプラットホーム上にローテーター（RoTip）が配置されており、 RoTip Shuttle本体はSEMステージ動作で操作します。スタブピンホルダにセットした試料から薄片をリフトアウトし、 TEMグリッドに移し替えます。グリッドはTEMグリッドホルダで保持され、ホルダは差込穴で水平保持されます。薄片をグリッドに固定後、 STEM検出器を挿入し、薄片を回転（フリップ）させます。

製品仕様確認後要修正

項目	内容
回転範囲	360°（連続・無制限）
分解能	0.1°
動作最高真空度	1×10^-7 mbar
動作温度	0℃～80℃

※すべての仕様は参考値です。予告なく変更される場合があります。

製品動画

製品画像

RT-STEM Rotational Axis

RT-STEM は、MM3A-EM マイクロマニピュレーターと組み合わせて使用するスタンドアロン型の回転軸ユニットです。 RT-STEMを追加することで、3軸動作のシステムに回転軸を付加し、多くのSEMおよびFIBアプリケーションに対応可能となります。 TEMグリッドホルダーやより大型の試料を本軸に装着し、1ステップあたり 10^-7 rad の分解能で回転させることができます。

※マニピュレーターがない場合、別途コントローラー等が必要になります。

製品仕様

項目	内容
L × W × H	18.6 mm × 15 mm × 25.5 mm
重量	18 g
回転範囲	360°（連続・無制限）
速度	< 最大 0.6 rad/s
分解能	10^-7 rad
保持トルク	3～4 Nmm
使用温度範囲	273 K ～ 353 K
最低圧力	10^-7 mbar
ハウジング取付	M4穴