Phenom向けツール
Thermo Fisher Scientific社の卓上SEM「Phenom」シリーズで利用可能なシステムです。
その他の卓上SEMでのご利用に関しては、お問い合わせください。
- 優れた安定性
- サブナノ分解能
- 低ドリフト
● 操作性
- 直感的な制御・操作系
- 迅速な取付けと取外し
- 使いやすく、習得が容易
- プラグアンドプレイ方式
★ モデル
PS4@PhenomXL
Prober Shuttleは、高精度なin-situ電気ナノプロービングのために
開発された最新ツールです。本製品のコンセプトを実現するため、卓越した
安定性と位置決め精度を備えた超薄型三軸マニピュレーターMM4を新規開発しました。
Prober Shuttleは、2台または4台のMM4 で構成可能で、さらに 超薄型の二軸または三軸サブステージをオプションとして選択できます。
Phenom XLの真空フィードスルーの接点数には制限があるため、本構成では最大4台のマイクロマニピュレーターまで駆動可能です。
- サブステージを使用する場合 → 最大3プローブ構成まで
- サブステージなしの場合 → 4プローブ構成が可能
多くのユーザーにとっては、サブステージなしの4プローブ構成で十分なアプリケーション対応が可能です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 全高×全幅 | 10 mm × 100 mm |
| 最大試料サイズ | 20 mm × 20 mm |
| 最大試料高さ | 10 mm ※試料面積およびロードロック寸法に依存します |
| 重量 | 100 g + SEM／FIB用ダブテール |
| 可動軸 | A = 左右、B = 上下、C = 伸縮 |
| 可動範囲 | A = 9 mm、B = 90°、C = 5 mm |
| 分解能 | A < 0.05 nm、B < 0.5 nm、C < 0.05 nm |
| ドリフト | 1 nm/min |
| ノイズ | 25 fA @ 1 Hz |
| 絶縁リーク電流 | < 50 fA/V |
| 信号導体抵抗 | < 5 Ω |
| 最大電圧 | 100 V |
| 最大電流 | 100 mA |
- フランジからラックまでのクリーンなケーブルマネジメント
- 非磁性設計
- 5nm世代以降に対応
※すべての技術仕様は参考値です。継続的な製品改良により、仕様は予告なく変更される場合があります。
製品画像
MM3A-EM for Phenom
Phenom 卓上SEM内でマイクロマニピュレーターMM3A-EMを使用できるシステムです。 直立型のマイクロマニピュレーターにより、試料を三次元方向に高精度で 位置決めすることが可能です。さらに、サンプルホルダーにはツールチップ を装着できます。ツールチップとしては以下が使用可能です。
- ニードル（プローブ針）
- マイクログリッパー
- フォースセンサー
MM3A-EMを導入することで、既存の顕微鏡に新たな機能と拡張性を付加 できます。お使いの顕微鏡に「もう一つの手」を加えるソリューションです。
製品仕様
【概要・プロービング電気特性】
| 項目 | 内容 |
| 全長×全幅×全高 | 62.1 mm × 20.4 mm × 25.4 mm |
| 重量 | 45g |
| 可動軸 | A = 左右、B = 上下、C = 伸縮 |
| 可動範囲 | A & B：240°、C：12 mm |
| 移動速度 | A & B：最大 10 mm/s、C：最大 2 mm/s |
| 分解能 | A：6.5 nrad（0.5 nm）、B：6.5 nrad（0.2 nm）、C：< 0.05 nm |
| 保持力 | 1 N |
| 保持トルク | 3～4 Nmm |
| Y方向リフト荷重 | 5 g |
| 測定電流範囲 | 10 nA ～ 100 mA |
| 最大印加電圧 | 100 V |
| プロービング信号抵抗 | 7.0 Ω |
【使用環境条件】
| 項目 | 内容 |
| 温度範囲（標準仕様） | 273 K ～ 353 K |
| UHV仕様 | 273 K ～ 393 K |
| 低温仕様 | 77 K ～ 393 K |
| 到達圧力（標準仕様） | 10-7 mbar |
| UHV仕様 | 2 x 10-10 mbar |
※すべての技術仕様は参考値です。継続的な製品改良により、仕様は予告なく変更される場合があります。
製品画像
エンコーダ付きTilt & Rotationステージ
Phenom向けTilt & Rotationステージは、Phenom 卓上SEMのサンプルホルダー内に収まるよう、コンパクトに設計されています。
エンコーダ内蔵の2軸構成です。
用途例：歯科試料（歯の断面など）の観察
製品仕様
| 項目 | 内容 |
| チルト角度範囲 | ±90° |
| 回転角度範囲 | 360° |
| 絶対精度 | < 0.2°（3 µrad） |
| 繰り返し精度 | < 0.03°（0.4 µrad） |
| 分解能 | < 0.4 µdeg（6.5 nrad） |
※すべての仕様は参考値です。予告なく変更される場合があります。
エンコーダ付き Pre-Tilt Rotation ステージ
Phenom向けPre-Tilt Rotation ステージは、Phenom 卓上SEMのサンプルホルダー内に収まるよう、コンパクトに設計されています。
あらかじめ設定されたチルト角を持つ単一のエンコーダ内蔵回転軸を備えており、傾斜状態で高精度な回転制御が可能です。
用途例：微化石（マイクロフォッシル）の観察・解析
製品仕様
| 項目 | 内容 |
| 事前設定チルト角 | 54.7° |
| 回転角度範囲 | 360° |
| 絶対精度 | < 0.2°（3 µrad） |
| 繰り返し精度 | < 0.03°（0.4 µrad） |
| 分解能 | < 0.4 µdeg（6.5 nrad） |
※すべての仕様は参考値です。予告なく変更される場合があります。
Tilt-Rotation ステージ
Phenom向けTilt-Rotation ステージは、Phenom 卓上SEMのサンプルホルダー内に収まるよう、コンパクトに設計されています。
チルト軸は、±3°の範囲に手動で制限することが可能です。
用途例：3Dイメージング
製品仕様
| 項目 | 内容 |
| チルト範囲 | +90° ～ –3° |
| オプション制限範囲 | +3° ～ –3° |
| 回転範囲 | 360° |
| 分解能 | < 0.4 µdeg（6.5 nrad） |
※すべての仕様は参考値です。予告なく変更される場合があります。
Tilt ステージ
Phenom向けTilt ステージは、Phenom 卓上SEMのサンプルホルダー内に収まるよう、コンパクトに設計されています。
チルト軸は、±3°の範囲に手動で制限することが可能です。
用途例：3Dイメージング
製品仕様
| 項目 | 内容 |
| チルト範囲 | +90° ～ –3° |
| オプション制限範囲 | +3° ～ –3° |
| 分解能 | < 0.4 µdeg（6.5 nrad） |
※すべての仕様は参考値です。予告なく変更される場合があります。
Add-onシリーズ へ戻る
特 徴 へ戻る
モ デ ル へ戻る
