Micro Heating System

Micro Heating Stage

★ 特徴

　マイクロ加熱・冷却ステージ（MHCS）は、SEM/FIBに小型の冷却ステージを追加するためのスタンドアロンシステムです。MHCSには、付属の温度制御システムを使用して設定された温度を維持するために、統合された冷却・加熱・検知システムが搭載されています。付属のソフトウェアを使用すると、運転温度プロファイルを設定できるだけでなく、後の参照のために設定値と測定値を記録できます。システムは水冷を必要としません。
　既存のマイクロマニピュレータシステムにMHCSを追加してアップグレードすることが可能です。

● 機能面

MM3A/Eとの組合せ
冷却：－60℃まで
加熱：125℃まで
循環冷却なし

● 操作性

プラグアンドプレイ方式
直感的な制御・操作系
迅速な取付けと取外し
使いやすく、習得が容易
ソフトウエア制御も

項目	内容
温度	室温～90℃＠大気下、室温～200℃＠真空下
温度制御	安定性1℃、分解能0.1℃
温度センサー	精度0.5%、安定性0.05%＠200℃(1000時間使用後)
昇温時間	100℃まで100s、200℃まで200s(真空度による)
降温時間	200℃から100℃まで200s、45℃まで600s(真空度による)
動作真空度	1×10^-7 mbar～大気圧
電源	AC90～240 V 50/60 Hz