REBEKA

REBEKA - SEM用 伸縮式BSE検出器

『REBEKA』は、電子顕微鏡用の新しいBSE検出器で、 Crytur最高クラスの単結晶シンチレータに、精密高真空メカニクスと読出し回路を使いやすい単一パッケージにまとめた製品です。

• 単結晶 CRY 18
• 超高品質な画像の為のシンチレータ/PMT（光電子増倍管）
• 優れたS/N比
• HV + LV + ESEM操作
• 0.5 keVまで検出できる独自の低エネルギーコーティング技術
  　 （CRYTUR LOW-ENERGY COATING™）

• モータ駆動式引き込み機構
• ベローズ式引き込み機構による超高真空
• 引き込み範囲：150 mm
• コンパクト設計
• 精密な位置調整
• 各種SEMへ取付可能

• REBEKA仕様
• サンプル画像

センサ部

●　最適化された効率、最小化された残光、30光子/keVでの減衰時間45nsのCRY 18シンチレータ

●　外径15 mm

●　穴径：1、1.5、2、3 mm （観察視野は穴径による）

●　0.5 keVまで検出できる独自の低エネルギーコーティング技術（CRYTUR LOW-ENERGY COATING™）

●　最小感度：ビーム電流値1 pA

電子制御部

●　寸法：270 × 180 × 65 mm

●　電源：AC 230/110 V

●　異なるスキャン速度に最適化された3つのノイズフィルタ

●　帯域幅：50 MHz

●　内蔵電源：光電子倍増管用0～1200 V

●　ビデオ出力信号：±1V（±5V）

●　完全遠隔ソフトウェア制御

作動機構部

●　寸法：406 × 100 × 72 mm

●　超高真空度のベローズ設計

●　モータ駆動式引き込み：150 mm

●　XYZ軸での微調整：±2 mm

●　位置再現性：±0.01 mm

●　金属保護チューブで覆われた検出器チップの厚さ： 3.5 mm / 幅：24 mm

●　各種SEMのフランジに対応

●　銀/黒/青/赤の艶消し仕上げ

●　入射電圧の増加に伴うBSEコントラストの進化

グバラ隕石中のコンドリュールと金属フレーク（チェコ共和国科学アカデミー地質研究所提供）

●　高速スキャン　REBEKAは20ns/pxlの高速スキャンが可能です。

Er / Ybファイバーレーザーの詳細（チェコ共和国科学アカデミー光電子研究所）

●　同一サンプルのBSEとSEの画像比較

Lu2 O3 結晶を含むLu3 Al5 O12

●　REBEKAで取得した画像

（左上）セラミック表面上のIr、（右上）電子チップ上のSnボンド、（左下）天然ガーネット結晶、（右下）Hg-Pd-Te（チェコ地質調査所提供）

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